半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
工程蓝本
该公司品牌座落河北省上海市,包括长期从事顶级半导体设备集成块的封裝检查,日的排放口废需水量约200吨。鉴于的生产方式中操作多重化工药水,废污水组成成分繁琐,有氨基磺酸镍值铜、镍等巨资属甚至固化剂聚酯树脂、光刻胶等有机物污染破坏物。公司品牌原先的除理建筑设施没法要求最新的的排放口规定,需要提升改进。
废水处理工艺材料及由来
化学镀废水处理工艺
:主要来来自处理芯片引脚电渡工艺程序,含有铜、镍、锡等巨资属阴离子,pH值震荡大。
有机酸废水处理工艺
:关键出于二极管封装胶干固、光刻施工工艺,包含环氧树脂胶环氧树脂胶、异丙醇、二甲苯等有机物容剂。
酸碱平衡废渣
:造成于晶圆清晰和蚀刻工步,包含有氢佛酸、氢氧化的钠、氢氧化的钠等。
清理生产技术的流程
预操作的阶段
酸性与
:凭借加量体系改善pH至6-9,尽量避免事件调查治理 机器设备生锈。
混凝土沉定
:污泥脱水PAC(缩聚氯化铝)和PAM(PP酰胺),彻底清除浮动物和部份高价属。
主要补救时段
二级氧化的
:用Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)被分解转换成难吸附设计物,COD清除率达70%上面的。
膜滤出
:反浸入膜(UF)+反浸入(RO)搭档艺,进步截流高价属和降解性可挥发物。
深层治理 时期
化合物变换
:也可以对于铜、镍铝离子,确保安全生产留水天价属含量大于0.5mg/L。
化学活化炭物理吸附
:是然后保险,清除杂质氢化物发生器可挥发物。
从而作用
经治理后,喷水水被污染的满足《电子元器件制造业水被污染的物进行排放细则》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,回收率增加至60%,第年勤俭节约使用水总成本约80万的大写。