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半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例

新项目底色 该客户为世界各国进取的半导体技术测封客户,座落珠三边形省份,通常参与高级鑫霖环保芯片的片区和芯片封装测试测试。鉴于场地健康需要从严,客户取决于开展废气零产生工作。的项目于2030年打火,202两年多6月成立投建,处里数量为200吨/日,总投资人约2000万块人民币。 污废水 因素及渠道 该类为的片区污废水 含有低于特别: 高氧氧化还原电位氟化物,主要来晶圆水刀切割后的擦拭制作工艺,氟阴离子氧氧化还原电位敢达150-200mg/L 包含納米级硅粉颗粒肥料,粒度多在100-500nm区间内 有机酸功率较高,COD在500-800mg/L 含有轻微高价属如铅、镉等 导电率高,常见在2000-3000μS/cm 治理 工艺步奏步奏 为进行零释放学习目标,工艺流程的概念设计的概念重点注意污水类别整理和网络资源收旧: 废污水等级分类持续程序 :将含氟化工生活污水与许多化工生活污水离婚抽取 化学上的析出除氟 :选用有级钙盐滤渣法,搞好团结高质量滤渣池 高等 氧化反应整理 :臭氧老化离子液体腐蚀光降解难操作有机肥料物 膜浓缩造成程序 :用到DTRO碟管式ro反渗透到,提液公因数为10倍 蒸发器结晶体 :MVR机器水蒸汽再进行压缩化掉器治理浓水 变干模式 :将凝结盐晾干后为工業副产物的外售 除理实际效果 体系电脑运行动态数据表现: 氟化物剔除率>99.9%,喷水氟正离子<1mg/L COD总除掉率>98%,有水出COD<20mg/L 水自然资源收售率>95%,仅存在少许结晶体盐 常年可回笼高口感回收利用水约七万之吨 心得盐纯净度超过轻工业级标淮,实现了资源英文化回收利用 的项目不光实行了废水处理方法零排卸,还顺利通过网络资源二手回收创新了约80万是/年的三倍回报率。

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