半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
新项目底色
该客户为世界各国进取的半导体技术测封客户,座落珠三边形省份,通常参与高级鑫霖环保芯片的片区和芯片封装测试测试。鉴于场地健康需要从严,客户取决于开展废气零产生工作。的项目于2030年打火,202两年多6月成立投建,处里数量为200吨/日,总投资人约2000万块人民币。
污废水 因素及渠道
该类为的片区污废水 含有低于特别:
高氧氧化还原电位氟化物,主要来晶圆水刀切割后的擦拭制作工艺,氟阴离子氧氧化还原电位敢达150-200mg/L
包含納米级硅粉颗粒肥料,粒度多在100-500nm区间内
有机酸功率较高,COD在500-800mg/L
含有轻微高价属如铅、镉等
导电率高,常见在2000-3000μS/cm
治理 工艺步奏步奏
为进行零释放学习目标,工艺流程的概念设计的概念重点注意污水类别整理和网络资源收旧:
废污水等级分类持续程序
:将含氟化工生活污水与许多化工生活污水离婚抽取
化学上的析出除氟
:选用有级钙盐滤渣法,搞好团结高质量滤渣池
高等 氧化反应整理
:臭氧老化离子液体腐蚀光降解难操作有机肥料物
膜浓缩造成程序
:用到DTRO碟管式ro反渗透到,提液公因数为10倍
蒸发器结晶体
:MVR机器水蒸汽再进行压缩化掉器治理浓水
变干模式
:将凝结盐晾干后为工業副产物的外售
除理实际效果
体系电脑运行动态数据表现:
氟化物剔除率>99.9%,喷水氟正离子<1mg/L
COD总除掉率>98%,有水出COD<20mg/L
水自然资源收售率>95%,仅存在少许结晶体盐
常年可回笼高口感回收利用水约七万之吨
心得盐纯净度超过轻工业级标淮,实现了资源英文化回收利用
的项目不光实行了废水处理方法零排卸,还顺利通过网络资源二手回收创新了约80万是/年的三倍回报率。