该案例库源于华北城市开家中大型半导体集成ic制造技术机构,主要生产加工制造一体化三极管集成ic。在生产加工制造操作过程中,晶圆洁净、蚀刻等加工过程需便用海量电子器件级磷酸(色度≥85%),从此引发高氧浓度含磷废水处置。机构多余处置安全设施始终无法 达到日益增长要从严的进行排放原则(TP≤0.5mg/L),肯定需要强制升级改革。
废气营养成分及种类
废渣具体出于于六个重要环节:晶圆刷洗废渣(占总需水量60%)、机器冲干净废渣(30%)、地坪冲干净废渣(10%)。土质显著特点症状为:pH值1.5-2.5,总磷溶度800-1200mg/L,氟铁离子含量的50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并有微量分析高价属(铜、锌等)。
解决技艺操作流程
创业项目主要采用"预处置+物理沉淀自己+高端氧化反应+广度过虑"的组装生产技术:
可以调节池
:营养均衡水污染出水量,下设pH高清在线污染监测系统化
3级生理反应池
:添加白灰乳上下调整pH至8.5-9.0,出现Ca3(PO4)2凝固
二次元响应池
:获取PAC和PAM进行强化水解酸化池功效
斜板奠定池
:控制固液隔离,厌氧颗粒污泥来到脱水现象机系统
Fenton氧化物单元式
:H2O2与Fe²⁺协同管理用处溶解设计物
多有机溶剂吸附器
:石英晶体砂+活力性炭团体过滤系统,确保安全水流清新
铁离子置换模式
:进几步清掉的残留物轻金属阴离子
决定使用效果
系統作业安全后,喷水水硬度:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铁离子≤5mg/L,基本因素相较于《電子流程水严重排放标准出物排放标准出要求》(GB 39731-2020)。年可以减少磷排放标准出约15吨,淤泥会产生量较过去的流程消减40%,作业生产成本设定在8.十元/吨水。