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半导体厂高浓度氨气酸性废气处理案例

某半导体材料厂高溶度氢氧化钠+咸性其他气体协力工作项目流程 一、项目流程的背景与工业废气优势 该厂铁离子赋予、蔓延生产工序出现高密度二氧化氮(NH₃,密度5,000-8,000mg/m³)与酸碱性气态(HCl、H₂S,密度1,000-2,000mg/m³)搭配废水,风口尺寸10,000m³/h。二氧化氮都具有强畅快性,酸碱性气态腐化性强,若单独排污会构成铵盐颗粒肥料物,导致板块PM2.5污染问题,且对相应农大田作物滋生从而造成危害性。 二、外理技艺设计 采取**“碱酸中合洗涤剂+催化剂的作用氧化反应+可溶性炭吸收”**的联动技术,而性方面缓解氢氧化钠与呈酸性甲烷气体的推进祛除困难:

酸碱中和洗涤:废气首先进入双塔串联洗涤系统,第一塔喷淋稀硫酸(H₂SO₄)溶液,中和氨气生成硫酸铵(可回收作为化肥原料);第二塔喷淋NaOH溶液,中和HCl、H₂S等酸性气体,生成NaCl、Na₂S等无害盐类。

催化氧化:中和后的废气仍含微量NH₃与酸性气体,进入催化氧化装置,在Pt/Al₂O₃催化剂作用下,通过低温氧化(300-400℃)将残留污染物彻底分解为N₂、H₂O、CO₂。

活性炭吸附:最后通过活性炭吸附塔,捕获微量有机杂质与颗粒物,确保排放浓度≤50mg/m³(NH₃)、≤20mg/m³(HCl),满足《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-93)要求。

三、处置设施设备重要主要优势

资源回收能力:硫酸铵回收系统可将中和产生的硫酸铵溶液浓缩结晶,作为农业肥料销售,年创收超50万元,实现“以废治废”的循环经济模式。

高效协同去除:双塔串联洗涤设计,可同时处理氨气与酸性气体,避免单一洗涤塔因pH波动导致处理效率下降;催化氧化装置采用抗中毒催化剂,可耐受硫化物、氨气等杂质,使用寿命超3年。

安全防爆设计:氨气与空气混合易形成爆炸性气体(爆炸极限15%-28%),洗涤塔与催化氧化装置均配备氮气吹扫、泄漏报警、紧急切断系统,确保处理过程零事故。

四、办理效果好与工厂效用 项目流程投入运营后,二氧化氮、HCl排污氨水浓度分开 越来越低30mg/m³、10mg/m³,硝酸钠铵年收集量超200吨,创收300万元;附进村民申诉量越来越低95%,企业刷出“节能社会上权责奖”,在市政府中标中必需评为“纯天然批售商”,淘宝订单量同比的增长的增长30%。

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