该厂为84英寸晶圆引起线设备配套的超净水体统,经常引起含硅电镀废水150吨。电镀废河中虽无高价属,但硅含水量高易水垢,且电阻值率需达标18MΩ·cm才可循环。原来处置工艺流程不能提供新修订的《手机工业化水废弃物物废水废气排放标准单位标准单位》(GB39731-2020)比较废水废气排放标准单位卫生防护距离。
废水处理方法有效成分共同点
主要严重污渍
:悬浊液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(比表面积0.1-1μm)
特别耍求
:TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L
水体质量形态
:低导电率(<50μS/cm)但硅氧化物行态更复杂
加工处理工艺工艺工艺
全新通过"梯级膜区分+电去阴离子"三人组合艺:
微滤预治疗
:1μm卫浴陶瓷膜过滤大颗粒物硅,通量长期保持80LMH
亚铁离子互转树酯
:D201大孔不饱和树脂选购性吸收硅酸团伙
两级RO系统化
:1段回收并率60%,第五段主要采用高脱硼膜电气元件
EDI电去阴离子
:感应电流硬度2A/m²,连续避开多余阳离子
太阳光的紫外线杀菌的
:254nm分光光度计线服用量40mJ/cm²
技巧创新举措
搭建专门用阻硅剂(有机质胺类黏结物),推迟膜环境破坏期3倍
EDI方案转型升级流道设计方案,硅弄掉率增强至99.8%
再线硅解析仪(校正领域0.1-500μg/L)建立精准脱贫抑制
正常运行转化效果
经3、方的检测:
总硅从280mg/L高于0.05mg/L
硼含氧量从8μg/L降为0.3μg/L
装置回收公司率从原40%完善至68%
膜进行更换时期廷长至5年,年运转制造费较低35%