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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为84英寸晶圆引起线设备配套的超净水体统,经常引起含硅电镀废水150吨。电镀废河中虽无高价属,但硅含水量高易水垢,且电阻值率需达标18MΩ·cm才可循环。原来处置工艺流程不能提供新修订的《手机工业化水废弃物物废水废气排放标准单位标准单位》(GB39731-2020)比较废水废气排放标准单位卫生防护距离。 废水处理方法有效成分共同点 主要严重污渍 :悬浊液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(比表面积0.1-1μm) 特别耍求 :TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L 水体质量形态 :低导电率(<50μS/cm)但硅氧化物行态更复杂 加工处理工艺工艺工艺 全新通过"梯级膜区分+电去阴离子"三人组合艺: 微滤预治疗 :1μm卫浴陶瓷膜过滤大颗粒物硅,通量长期保持80LMH 亚铁离子互转树酯 :D201大孔不饱和树脂选购性吸收硅酸团伙 两级RO系统化 :1段回收并率60%,第五段主要采用高脱硼膜电气元件 EDI电去阴离子 :感应电流硬度2A/m²,连续避开多余阳离子 太阳光的紫外线杀菌的 :254nm分光光度计线服用量40mJ/cm² 技巧创新举措 搭建专门用阻硅剂(有机质胺类黏结物),推迟膜环境破坏期3倍 EDI方案转型升级流道设计方案,硅弄掉率增强至99.8% 再线硅解析仪(校正领域0.1-500μg/L)建立精准脱贫抑制 正常运行转化效果 经3、方的检测: 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含氧量从8μg/L降为0.3μg/L 装置回收公司率从原40%完善至68% 膜进行更换时期廷长至5年,年运转制造费较低35%

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