某半导体设备鑫霖环保芯片造成厂在晶圆制作加工时候中,选用硅烷进行硅本质种植,尾气排放洗條塔形成高盐浓度含硅废渣。废渣还具有pH冲击大(2-11)、硅量高的特别,经典办理的方法易导致硅垢梗塞的问题。
工业废水材料及收入
污水具体化学物质为:
析出性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
盐酸/氢防氧化钠
:洗洁塔酸性洗洁液留下
顆粒硅
:纳米技术级SiO₂溶液
痕量砷
:原科钙镁离子带往
补救技艺操作流程
不断创新通过"两极中合+膜进行过滤+蒸发掉结晶体"制作工艺:
五级结合
:用CaO设定pH至4-5,自动生成硅酸钙结晶,硅去掉率60%。
2级结合
:加Na₂CO₃将pH提高至9,进一次发展剩的硅,串连用镁剂除砷。
超滤膜体统
:0.02μm淘瓷膜进行过滤纳米级级硅颗粒物,通量保持稳定在80LMH。
MVR蒸馏器
:沉淀高盐废水处理工艺,析出出Na₂SO₄副成品,水造纸废水处理率超90%。
终极治疗效果
总硅从1500mg/L降低5mg/L接下来
砷含量的从0.8mg/L降下来0.01mg/L
系统软件无结渣开机运行可超过2年
常年回笼硝酸钠钠晶胞约800吨