半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导高性价比首测生活设施涉重废渣——MVR强硬嵌套循环零排工程
項目大环境
半导体芯片芯片高端品牌首测品牌,人数150每立方米/天,是首批半导体芯片芯片首测匹配涉重污水零排品牌。首测方面的镀镍、镀铜、引线骨架清洁会诞生含镍含铜污水,产业园区请求"无尾水外排",产水都使用于产线。
地表水症状与困难
废污水以含镍是以(溶液浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH冲击大(2–12),还是光刻胶残余的的一少部分充分物。测封厂安装地点紧,规范外理设备占地面积小;零排代表着浓水没有土石方工程不少,肯定本地网蒸发器析出闭环控制。
工作技艺途径
整个走"分质持续 → 预除理除杂 → 检查是否积淀除镍 → 油烟净化器 → UF+有级RO → MVR硬性反复蒸馏 → 冷凝水水循环":
含镍线先调pH到10–11,加药氢氧化物反应钠形成Ni(OH)₂沉淀物中,另加加硫钠进一步收集稳定度镍(加硫镍Ksp比氢氧化物反应镍更小,如何把镍压到0.1毫克/升一些);
奠定喷水经多导电介质吸附+保安队长吸附后进UF,再进四级RO,产水立即回产线擦拭;
RO浓水(含盐+稳定度高价属)进MVR禁止嵌套反复挥发器,禁止嵌套反复能扛高含盐水垢,挥发器有带网络冲洗,很不容易堵;
MVR冷却水回家后循环蓄水池,挥发残液委外焚烧炉或是 危废处理处里,正个生活区无等离子态外排。
重要机械优势表示
MVR强硬嵌套循环系统差距普通型降膜蒸馏,嵌套循环系统流动速度高、热传递面容易结镍盐/碳酸盐垢,適合测封这样"储水量不太大但水环境杂"的3d场景;整体化撬装设计情况报告占地面比过去的蒸馏塘+多效蒸馏情况报告小60%以下;臭味侧一起微生物滤池,把控制池和废水间的臭味分类整理后生物降解成CO₂和水,禁止测封厂紧靠企业办公场地的刺激性气味匿名举报。
除理体验与社会效益
出液镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,好于《电渡影响物进行排放出规定》表三;全部都150万每立方/天产水工业废水处理于首测产线洗掉,代替等量新鲜的水;危险废弃物(挥发残液+厌氧颗粒污泥)量比传统意义"悠长岁月中+进行排放出"格局减约70%。对富士康侧,首测内容安全运营卡点遭打通;